Ксенон, Криптон, Неон, Гелий – производятся на установках для получения сверхчистых газов с возможностью производства продукта марки 7.0 (99,99999%). Процессы получения газов позволяют выпускать продукцию с количеством примесей измеряемыми на уровне единиц ppb (1 ppb = 1*10-3 ppm).
